Расширенный поиск

Зинченко Л. А.
   САПР наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Зинченко Л. А. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 219 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 17). - Библиогр.: с. 216. - ISBN 978-5-7038-3508-1.

Власов А. И., Назаров А. В.
   Основы моделирования микро- и наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Власов А. И., Назаров А. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 142 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 14). - Библиогр.: с. 140. - ISBN 978-5-7038-3505-0.

   Автоматизированное проектирование наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Власов А. И., Зинченко Л. А., Макарчук В. В., Родионов И. А. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 183 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 13). - Библиогр.: с. 181. - ISBN 978-5-7038-3504-3.

Панфилов Ю. В.
   Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.: с. 125. - ISBN 978-5-7038-3501-2.

Денисов А. А., Кальнов В. А., Шахнов В. А.
   Проектирование оптической элементной базы наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Денисов А. А., Кальнов В. А., Шахнов В. А. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 140 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 7). - Библиогр.: с. 136-137. - ISBN 978-5-7038-3498-5.

Панфилов Ю. В.
   Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 89. - ISBN 978-5-7038-5350-4.

   Оценка и обеспечение надежности изделий микро- и наноэлектроники, микросистемной техники : учебное пособие / Тимошенков С. П., Заводян А. В., Симонов Б. М., Горошко В. Н. - М. : Изд-во МИЭТ, 2013.
   Ч. 2. - 2013. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 142-149. - ISBN 978-5-7256-0720-8.

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 : учебное пособие / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. - 122 с. : ил. - ISBN 978-5-7038-4864-7.

Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А.
   Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие / Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2022. - 110 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 100-109. - ISBN 978-5-907228-73-3.

Дидык П. И., Жуков А. А.
   Принципы функционирования, типовые конструкции исполнительных элементов и устройства микросистемной техники : учебное пособие / Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2022. - 94 с. : ил. - Библиогр.: с. 87-92. - ISBN 978-5-907228-74-0.