Личный кабинет
1 запись
Статья
Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А.
Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2015. - № 6. -С. 125-134 .
Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2015. - № 6. -
