Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф.
   Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе / Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф. - М. : Физматлит, 2006. - 192 с. : ил. - Библиогр.: с. 178-192. - ISBN 5-9221-0695-3.

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных авто электронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики.
Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов,специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.

621.38-022.532 Наноэлектроника
18 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
  5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

Татаренко, Н. И. Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе : учебное пособие / Н. И. Татаренко, В. Ф. Кравченко. — Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2006. — 192 с. — ISBN 5-9221-0695-3.
ЭБС «Лань»