382 записи
Статья
Прогнозирование качества и надежности ИС СВЧ на этапах разработки и производства. Часть 59. Полуизолирующие 6H-SiC подложки для применения в монолитных интегральных схемах / Белов С. В., Васильев А. В., Венедиктов О. В., Вьюгинов В. Н., Гудков А. Г., Кузмичев Ю. С., Лебедев А. А., Лебедев С. П., Литвин Д. П., Макаров Ю. Н., Нагалюк С. С., Никитина И. П., Попов В. В., Смирнов А. Н., Травин Н. К., Шифман Р. Г. // Машиностроитель. - 2015. - № 4. - С. 30-39 .
