103 записи
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Кузнецов Г. Д., Сергиенко А. А., Симакин С. Б. [и др.]. - М. : Изд. Дом МИСиС, 2012. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с. 120-121 . - ISBN 978-5-87623-547-3 .
Элионная технология в микро-и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Кузнецов Г. Д., Кушхов А. Р., Сергиенко А. А., Харламов Н. А. ; Министерство образования и науки РФ, Национальный исслед. технол. ун-т "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - М. : Издат. Дом МИСиС, 2012. - 127 с. : ил. - Библиогр.: с. 95 . - ISBN 978-5-87623-556-5 .
GaN and ZnO-based Materials and Devices / ed. Pearton S. - Berlin : Springer, 2012. - XVII,485 p. : ill. - ISBN 978-3-642-23520-7 .