Расширенный поиск

   Нанотехнологии в микроэлектронике / Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. [и др.] ; ред. Агеев О. А., Коноплев Б. Г. - М. : Наука, 2019. - 511 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-02-040201-0.

Доломатов М. Ю., Бахтизин Р. З., Доломатова М. М.
   Физико-химия наночастиц : учебное пособие для вузов / Доломатов М. Ю., Бахтизин Р. З., Доломатова М. М. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 283 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр. в конце глав, лабораторных работ. - В книге также: Лабораторный практикум по компьютерным и спектроскопическим методам исследования структуры и свойств молекул и наночастиц. - ISBN 978-5-534-13077-5.

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 192 с. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. - ISBN 978-5-7038-5369-6.

Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
   Методы литографии в наноинженерии / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3500-5.

Власов А. И., Елсуков К. А., Панфилов Ю. В.
   Методы микроскопии / Власов А. И., Елсуков К. А., Панфилов Ю. В. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 280 с. - ISBN 978-5-7038-3492-3.

Назаров А. В.
   Многокомпонентное 3D-проектирование наносистем / Назаров А. В. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 392 с. - ISBN 978-5-7038-3495-4.

Малышев К. В., Скороходов Е. А., Шалаев В. А.
   Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур и наносборки радиоэлектронных систем: учебное пособие / Малышев К. В., Скороходов Е. А., Шалаев В. А. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. - 54 с. - ISBN 978-5-7038-3265-3.

Шабатина Т. И.
   Нанохимия и наноматериалы / Шабатина Т. И. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 63 с. - ISBN 978-5-7038-3965-2.

Власов А. И., Елсуков К. А., Косолапов И. А.
   Оптическая микроскопия / Власов А. И., Елсуков К. А., Косолапов И. А. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 184 с. - ISBN 978-5-7038-3503-6.