Расширенный поиск

Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
   Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. - С. 3-6.

Куликов И. Н., Шубников А. В.
   Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. - С. 43-47.

Куприянов И. Л., Геллер М. А.
   Газотермические покрытия с повышенной прочностью сцепления / Куприянов И. Л., Геллер М. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 166-173. - ISBN 5-343-00823-2.

Лащенко Г. И.
   Плазменное упрочнение и напыление / Лащенко Г. И. - Киев : Экотехнология, 2003. - 63 с. : ил. - Библиогр.: с. 61-63. - ISBN 966-95918-8-0.

Лепешев А. А.
   Плазменное напыление аморфных и нанокристаллических материалов : монография / Лепешев А. А. ; РАН. СО, Красноярский научный центр. - Красноярск : Изд-во сибирского федер. ун-та, 2013. - 223 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-223. - ISBN 978-5-7638-2803-0.

Лозован А. А.
   Оптимизация процесса разработки вакуумных наноградиентных покрытий / Лозован А. А. // Технология машиностроения. - 2007. - № 9. - С. 36-39.

Лозован А. А., Франгулов С. В., Родин А. И.
   Методы очистки внутренних поверхностей труб малого диаметра плазмой тлеющего разряда перед нанесением покрытий / Лозован А. А., Франгулов С. В., Родин А. И. // Сварочное производство. - 2009. - № 1. - С. 28-31.

Лучников П. А., Рогачев А. А., Лучников А. П.
   Наноструктурные и морфологические свойства вакуумных фторполимерных пленок на кремнии / Лучников П. А., Рогачев А. А., Лучников А. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 10. - С. 6-11.

Макарова К. Т., Моисеев К. М.
   Оценка влияния плазменной поляризации ПВДФ-пленки на ее структуру / Макарова К. Т., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2024. - Т. 1. - С. 261-265.

Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А.
   Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2015. - № 6. - С. 125-134.