476 записей
Статья
Оценка размерных показателей элементов проводящего рисунка печатных плат, полученных с помощью 3d-печати / Смирнова О. Н., Александров А. А., Боброва Ю. С., Моисеев К. М. // Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника. - 2023. - Т. 26, № 4. - С. 81-94 .
Статья
Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А.
Уточнение модели емкостных элементов МЭМС / Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -С. 48-50 .
Уточнение модели емкостных элементов МЭМС / Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -
Статья
Панфилов Ю. В.
Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. -С. 15-20 .
Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. -
Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:с. 178-179 . - ISBN 978-5-7038-3499-2 .
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:
Партала О. Н.
Цифровая электроника / Партала О. Н. - СПб. : Наука и Техника, 2000. - 208 с. : ил. - (Радиомастер). - Библиогр.:с. 203-204 . - ISBN 5-7931-0102-0 .
Цифровая электроника / Партала О. Н. - СПб. : Наука и Техника, 2000. - 208 с. : ил. - (Радиомастер). - Библиогр.:
Парфенов О. Д.
Технология микросхем : учеб. пособие для вузов / Парфенов О. Д. - М. : Высшая школа, 1986. - 318 с. : ил. - Библиогр.:с. 317 .
Технология микросхем : учеб. пособие для вузов / Парфенов О. Д. - М. : Высшая школа, 1986. - 318 с. : ил. - Библиогр.:
Парфенов О. Д.
Топологическое проектирование микросхем высокой степени интеграции : метод. указания к курсовому проектированию по курсу "Микроминиатюризация электронно-вычислительных средств" / Парфенов О. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 24 с. : ил. - Библиогр.:с. 24 .
Топологическое проектирование микросхем высокой степени интеграции : метод. указания к курсовому проектированию по курсу "Микроминиатюризация электронно-вычислительных средств" / Парфенов О. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 24 с. : ил. - Библиогр.:
Пархутик В. П., Лабунов В. А.
Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик В. П., Лабунов В. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279 с. : рис., граф. - Библиогр.:с. 252-276 . - ISBN 5-343-00522-5 .
Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик В. П., Лабунов В. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279 с. : рис., граф. - Библиогр.:
Статья
Перевозчикова Д. С., Андреев В. В.
Влияния прогиба кремниевой полупроводниковой пластины с диэлектрической изоляцией на качество фотолитографии / Перевозчикова Д. С., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. -С. 153-156 .
Влияния прогиба кремниевой полупроводниковой пластины с диэлектрической изоляцией на качество фотолитографии / Перевозчикова Д. С., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. -