Расширенный поиск

Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О.
   Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике : [монография] / Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О. ; РАН. - Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9.

Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш.
   Наноструктурированные вакуумные ионно-плазменные покрытия : [монография] / Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш. - М. : Инновационное машиностроение, 2017. - 366 с. : ил. - Библиогр.: с. 340-366. - ISBN 978-5-9500364-1-5.

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С.
   Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий : монография / Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С. - М. : КУРС, 2021. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 161-174. - ISBN 978-5-906923-01-1.

Кудинов В. В., Бобров Г. В.
   Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование : учебник для вузов / Кудинов В. В., Бобров Г. В. ; ред. Митин Б. С. - М. : Металлургия, 1992. - 432 с. : ил. - Библиогр.: с. 430-431. - ISBN 5-229-00843-1.

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171-175. - ISBN 5-256-00577-4.

Семенов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с. 106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.

Дороднов А. М., Кузнецов А. Н., Леонтьев С. В.
   Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме : учеб. пособие / Дороднов А. М., Кузнецов А. Н., Леонтьев С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1999. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 34.

Барвинок В. А., Богданович В. И.
   Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления : [монография] / Барвинок В. А., Богданович В. И. - М. : Машиностроение, 1999. - 309 с. : ил. - Библиогр.: с. 297-306. - ISBN 5-217-02957-9.

   Новые процессы и оборудование для газотермического и вакуумного покрытия: Сборник научных трудов. - 1990. - 145 с.