Готра З. Ю. Технология микроэлектронных устройств : справочник / Готра З. Ю. - М. : Радио и связь, 1991. - 527 с. : ил. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.