Данилин Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок / Данилин Б. С. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о технических файлах (cookie).