Родионов Ю. А. Технологические процессы в микро-и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 350. - ISBN 978-5-9729-0337-5.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.