1 запись
Родионов Ю. А.
Технологические процессы в микро-и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 350 . - ISBN 978-5-9729-0337-5 .
Технологические процессы в микро-и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : рис., табл. - Библиогр.: