Расширенный поиск

Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В.
   Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие / Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. - 213 с. : ил. - (Библиотека "Приборостроение" ; т. 2). - ISBN 978-5-7038-6098-4. - ISBN 978-5-7038-6155-4.