Берлин Е. В., Сейдман Л. А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с. 242-255. - ISBN 978-5-94836-369-1.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.