1 запись
Берлин Е. В., Сейдман Л. А.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.:с. 242-255 . - ISBN 978-5-94836-369-1 .
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: