Яшин К. Д., Лацапнёв Е. В. Англо-русский терминологический справочник по микро-и наносистемной технике / Яшин К. Д., Лацапнёв Е. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 61-75.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.