Подробное описание документа

   Субмикронная электроннозондовая диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. Калужский фил. ; рук. темы Степанович М. А. - М., 2003. - 96 л. - Библиогр.: л. 89-97. - Шифр ОК-ФН3-02Ф. - Инв. № 02.20.0302542.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники - Методы исследования

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л