Подробное описание документа

Лифшиц В. Г., Луняков Ю. В.
   Спектры ХППЭЭ поверхностных фаз на кремнии / Лифшиц В. Г., Луняков Ю. В. ; РАН, Ин-т автоматики и процессов управления. - Владивосток : Дальнаука, 2004. - 314 с. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-8044-0454-7.

В монографии приводятся основные сведения о методе спектроскопии характеристических потерь энергии электронами (ХПЭЭ), собраны и систематизированы спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии с различной ориентацией и реконструкцией подложки.
Книга предназначена для сотрудников академических институтов и предприятий полупроводниковой микроэлектроники, занимающихся кремниевыми технологиями, и студентов и аспирантов, специализирующихся в области физики конденсированного состояния и физики поверхности.

УДК

535.33 Общие сведения о спектрах. Спектры испускания. Спектры излучения. Эмиссионные спектры

Предметные рубрики

• Спектроскопия
• Кремний - Поверхностные свойства

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313