Подробное описание документа
Статья
Газоразрядный источник излучения на лямбда = 13. 5 HM ля литографии следующего поколения. // Международный симпозиум по радиационной плазмодинамике, 4 : сб. науч. тр. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, НИИ Энергетического Машиностроения МГТУ им. Н. Э. Баумана, РАН. - М., 2003. -