Подробное описание документа

Статья

Газоразрядный источник излучения на лямбда = 13. 5 HM ля литографии следующего поколения. // Международный симпозиум по радиационной плазмодинамике, 4 : сб. науч. тр. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, НИИ Энергетического Машиностроения МГТУ им. Н. Э. Баумана, РАН. - М., 2003. - С. 19-29.

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 19-29

Международный симпозиум по радиационной плазмодинамике, 4 : сб. науч. тр. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, НИИ Энергетического Машиностроения МГТУ им. Н. Э. Баумана, РАН. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2003. - 214 с. - ISBN 5-8208-0034-6.

подробнее