Подробное описание документа

Румак Н. В., Хатько В. В.
   Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; ред. Борисенко В. Е. ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметные рубрики

• Диэлектрические пленки
• Интегральные схемы - Производство

Общее кол-во в фондах

6 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313