Подробное описание документа

Румак Н. В.
   Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Румак Н. В. - 1990. - 190 с.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметные рубрики

• Диэлектрические пленки
• Интегральные схемы - Производство

Общее кол-во в фондах

6 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313