Подробное описание документа

   Моделирование ионно-имплантационной обработки материалов. / Неволин В. Н., Гнедовец А. Г., Фоминский В. Ю., Кошманов В. Е., Шарфф В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2004. - № 3. - С. 28-38.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях