Подробное описание документа

Вишняков Б. А., Осипов К. А.
   Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений / Вишняков Б. А., Осипов К. А. ; АН СССР, Ин-т металлургии им. А. А. Байкова. - М. : Наука, 1970. - 143 с. : ил. - Библиогр.: с. 136-142.

В книге дается обстоятельный обзор отечественных и зарубежных исследований сравнительно нового метода получения тонких пленок, пи котором разложение исходных химических соединений различных веществ осуществляется непосредственно электронным лучом. Изложены теоретические основы метода, приведены принципиальные схемы установок, необходимых для осуществления процесса разложения соединений и осаждения пленок, подробно описаны результаты экспериментальных работ с целью получения этим методом пленок различных материалов. Приведены основные параметры кинетики процесса осаждения, от которых зависит скорость роста пленок.
Издание рассчитано на исследователей, конструкторов, инженеров и техников, металлофизиков и других специалистов различных отраслей промышленности (приборостроительной, электровакуумной, химической и др.), а также преподавателей и студентов химических и технических вузов, изучающих проблемы получения тонких пленок и их практического применения.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Пленки - Получение

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313