Подробное описание документа

Царегородцев А. В.
   Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления : 05. 13. 01 : дис... ктн / Царегородцев А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1999. - 158 л. - Библиогр.: л. 142-150.

УДК

658.012.011.56

Предметные рубрики

• Металлизация плазменная - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л