Подробное описание документа

Белов И. А.
   Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / Белов И. А. - 1991. - 287 с.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Производство - Гидродинамические исследования
• Полупроводниковые приборы - Производство - Гидродинамические исследования

Общее кол-во в фондах

4 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313