Подробное описание документа

Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.: с. 283-286. - ISBN 5-7325-0001-4.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Производство - Гидродинамические исследования

Полупроводниковые приборы - Производство - Гидродинамические исследования

Общее кол-во в фондах
4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313