Подробное описание документа

   Численное моделирование микроэлектронных структур. - 1989. - 367 с.

Монография посвящена вопросам постановки, методам и алгоритмам решения задачи численного моделирования микроэлектронных структур.
Содержит обобщающее введение в проблему получения математических моделей полупроводниковых структур, берущую своё начало в закономерностях электромагнитных процессов, выраженных уравнениями Максвелла. Главное внимание уделяется аспектам автоматизации численного моделирования, созданию вычислительного инструментария проверки модельных технолого-конструктивных решений. Результаты теоретических исследований иллюстрируются большим количеством примеров и рисунков.
Адресуется специалистам в области автоматизации проектирования в микроэлектронике, инженерам-разработчикам полупроводниковых приборов и интегральных схем. Может быть полезной студентам и аспирантам, специализирующимся в области микроэлектроники и автоматизации проектирования.