Подробное описание документа

Чехович Е. К.
   Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Чехович Е. К. ; ред. Пилипович В. А. ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212 с. : рис. - Библиогр.: с. 200-211. - ISBN 5-343-00087-8.

Обобщён и систематизирован опыт разработки и создания оптико-электронных средств автоматизированного контроля линейных размеров элементов топологии изделий микроэлектроники. Рассмотрены методы преобразования информации о размерах элементов топологии при обработке изображений изделий, сканировании их сфокусированным излучением, использовании интегральных оптических преобразований. Значительное внимание уделяется ориентации и преобразованию перемещений объектов контроля, автоматической фокусировке излучения и т. п. Анализируются составляющие погрешности измерения, пути исследования точности средств контроля.
Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занятых эксплуатацией средств автоматизированного контроля линейных размеров объектов. Может быть также полезна аспирантам и преподавателям вузов, специализирующимся по измерительной технике, автоматизированным системам управления и другим смежным областям.