Подробное описание документа

Сергеев А. Н.
   Тугоплавкие оксиды и их соединения в тонком слое : [монография] / Сергеев А. Н. ; ред. Серебренников В. В. ; Томский государственный университет им. В. В. Куйбышева. - Томск : Изд-во Томского университета, 1989. - 296 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 266-296.

В книге рассматриваются твердофазные превращения тугоплавких оксидов и их соединений в приповерхностных слоях и конденсированных плёнках с преимущественно диэлектрическими свойствами. Для этого показано, что изменения химического состава, вызванные близостью поверхности и сопровождаемые обеднением по анионной подрешётке в ириповерхностном слое, аналогичны условиям пленочной технологии образующегося кислородного соединения. Возможные пути и поведение продуктов твердофазных превращений рассмотрены на примерах окисления в различных средах, растворения и инициируемого разложения под действием энергетических потоков. При этом значительное внимание уделяется ионообменным реакциям и локализации протекающих процессов.
Для научных работников, инженеров и аспирантов, связанных с пленочной технологией оксидных покрытий, и специалистов, занимающихся физикохимией материалов в тонком слое.