Подробное описание документа

   Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твёрдых тел : сборник статей / сост., ред. пер. с англ. Машкова Е. С. - М. : Мир, 1989. - 349 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-03-000280-4.

Аннотация

Сборник обзорных статей американских, европейских и канадских специалистов, в которых обобщаются и анализируются современные методы распыления материалов под действием ионных пучков и частиц плазмы, используемые в микроэлектронике, космической и термоядерной технологии и др. Рассмотрены методы анализа и моделирования распыления материалов, в том числе многослойных покрытий и многокомпонентных материалов, описаны методы расчёта топологии поверхностей, образующихся под действием ионной бомбардировки.
Для специалистов в области радиационного материаловедения, микроэлектроники, физической электроники, физики плазмы, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.

УДК

533.9.01 Теория и физика плазмы

Предметная рубрика

• Ионы - Взаимодействие с поверхностью твердых тел

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313