Подробное описание документа

Вавилов В. С., Кекелидзе Н. П., Смирнов Л. С.
   Действие излучений на полупроводники : учебное руководство / Вавилов В. С., Кекелидзе Н. П., Смирнов Л. С. - М. : Наука, 1988. - 190 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 180-181. - ISBN 5-02-013834-7.

Изложены основные представления о физических явлениях, приводящих к изменениям электрических, оптических и других свойств полупроводников под воздействием электромагнитного излучения, быстрых заряженных частиц и нейтронов. Основное внимание обращено на анализ первичных процессов, таких, как фотоионизация и ионизация заряженными частицами, внедрение ускоренных ионов примесей (ионная имплантация), влияние ядерных реакций на свойства полупроводников, а также возникновение радиационных нарушений кристаллической структуры, их устойчивость и энергетический спектр.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области физики твёрдого тела, физики полупроводников и твердотельной электроники, а также для инженеров и технологов.