Подробное описание документа

   Физические основы твердотельной электроники : тезисы докладов I Всесоюзной конференции, Ленинград, 25 - 29 сентября 1989 года : в 2 т. / Академия наук СССР, Научный Совет по проблеме "Физика и химия полупроводников", Главное научно-техническое управление МЭП СССР, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР. - Л., 1989.
   Т. В. - 1989. - 355 с. : ил. - Библиогр. в конце статей.

Аннотация

В книге собраны тезисы докладов, представленных на I Всесоюзной конференции по физическим основам твердотельной электроники (Ленинград, 25-29 сентября 1989 г.). Основная тематика данного тома затрагивает физические основы технологических процессов (методы исследования, диагностика и др.). Обсуждаются также возможности использования ВТСП плёнок в микроэлектронике и вопросы субмикронной литографии.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники
• Электроника

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313