Подробное описание документа

   Концептуализация маршрута проектирования микромеханических систем с пьезоэлементами / Сафронов А. Я., Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Матюшкин И. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 5. - С. 13-20.

УДК

666.655 Пьезоэлектрическая керамика

Статья опубликована в следующих изданиях