Подробное описание документа
Статья
Беляев В.
МЭМС/МСТ в современной технике на примере автомобилестроения и авиации / Беляев В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 5. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 36-44
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 5. - 2006.
№ 5. - 2006.