Подробное описание документа

   Статья

Беляев В.
   МЭМС/МСТ в современной технике на примере автомобилестроения и авиации / Беляев В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 5. - С. 36-44.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 36-44

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 5. - 2006.

подробнее