Подробное описание документа
Статья
Беляев В.
МЭМС/МСТ в современной технике на примере автомобилестроения и авиации / Беляев В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 5. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы