Подробное описание документа

Статья

Исследование движения и залечивания пор на границе сращивания кремниевых пластин, используемых для изготовления многослойных структур и микроэлектромеханических систем / Тимошенков С. П., Калугин В. В., Рубчиц В. Г., Бритков О. М., Прокопьев Е. П. // Материаловедение. - 2006. - № 5. - С. 15-19.