Подробное описание документа

Статья

Бутывская М. В., Петронюк Ю. С.
Ультразвуковая микроскопия как возможный инструмент контроля качества соединения пластин в процессе изготовления структур "кремний на изоляторе" / Бутывская М. В., Петронюк Ю. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 8. - С. 12-15.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 12-15

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 8. - 2006.

подробнее