Подробное описание документа

   Разработка конструкции и технологии изготовления микросхем на основе кремния и тонких пленок пьезокерамики / Сафронов А. Я., Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Матюшкин И. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 8. - С. 30-33.

УДК

621.3.049 Конструирование электрических цепей

Статья опубликована в следующих изданиях