Подробное описание документа

Диссертация

Аникин А. В.
Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : 05. 11. 14 : дис... ктн / Аникин А. В. ; Моск. гос. открытый ун-т. - М., 2006. - 279 л. - Библиогр.: л. 222-232.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Диссертации

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л