Подробное описание документа

   Диссертация

Аникин А. В.
   Технологическое обеспечение показателей качества пластин - подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : 05.11.14 : дис... ктн / Аникин А. В. ; Московский государственный открытый университет. - Москва, 2006. - 279 л. - Библиогр.: л.222-232.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметная рубрика

• Интегральные схемы - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л