Подробное описание документа

Лазарев Г. Л.
   Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : 05. 11. 07 : дис... ктн / Лазарев Г. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2006. - 142 л. - Библиогр.: л. 123-130.

УДК

681.723.26 Интерференционные микроскопы (микроинтерферометр Майкельсона, интерференционные лупы, окуляр с кристаллической оптикой)

Предметные рубрики

• Интерферометры - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л