Подробное описание документа
Неволин В. К.
Зондовые нанотехнологии в электронике : учеб. пособие для вузов / Неволин В. К. - 2-е изд., испр. и доп. - М. : Техносфера, 2006. - 159 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология.
В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.
Монография полезна для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, студентов и аспирантов, бакалавров и магистров, специализирующихся в области нанотехнологии и наноматериалов, микро-и наносистемной техники.
7 экз.
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Похожие издания
Зондовые нанотехнологии в электронике / Неволин В. К. - Техносфера, 2014. -
Зондовые нанотехнологии в электронике / Неволин В. К. - М. : Техносфера, 2005. - 147 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.