Подробное описание документа

Статья

Легирование слоев кремния, осаждаемых в гидридном и хлоридных процессах роста эпитаксиальных слоев при скоростном нагреве подложек некогерентным излучением, в производстве структур кремний на изоляторе / Тимошенков С. П., Бритков О. М., Графутин В. И., Зотов С. А., Калугин В. В., Лапицкий Ю. Я., Прокопьев Е. П., Тимошенков А. С. // Материаловедение. - 2006. - № 10. - С. 17-19.