Подробное описание документа
Статья
Фоминский В. Ю.
Совершенствование комплексной технологии вакуумного осаждения и ионно-лучевой обработки покрытий с применением импульсной лазерной плазмы / Фоминский В. Ю., Хороманская А. В. // Вестник машиностроения. - 2006. - № 9. -
621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация