Подробное описание документа

Алиев А. А.
   Модернизация вакуумной установки для нанесения многослойных износостойких и декоративных покрытий методом конденсации ионной бомбардировки / Алиев А. А. // Вестник машиностроения. - 2006. - № 3. - С. 79-82.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Статья опубликована в следующих изданиях