Подробное описание документа

Худобин Л. В., Крупенников О. Г., Дормушев А. Е.
   Ультразвуковая активация операции разрезки заготовок из полупроводниковых материалов на пластины алмазными отрезными кругами / Худобин Л. В., Крупенников О. Г., Дормушев А. Е. // Вестник машиностроения. - 2006. - № 10. - С. 47-49.

УДК

621.937.025:621.9.048.6

Статья опубликована в следующих изданиях