Подробное описание документа
                   Диссертация
            
        
            Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы с электромагнитами : 01. 04. 14 : дис... ктн / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2007. - 202 л. - Библиогр.: 
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них1 экз.![]()
                Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
            
            - Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
 - Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
 
