Подробное описание документа

Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы с электромагнитами : 01. 04. 14 : дис... ктн / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2007. - 202 л. - Библиогр.: л. 195-202.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Металлизация распылением - Диссертации

Авторы МГТУ

• Духопельников Дмитрий Владимирович

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л