Подробное описание документа
Статья
Калита В. И.
Формирование пористости при плазменном напылении / Калита В. И., Гнедовец А. Г., Комлев Д. М. // Физика и химия обработки материалов. - 2006. - № 6. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них