Подробное описание документа
Статья
Гурский Л. И.
Структура и кристаллографическая ориентация алюминиевых пленок на n- и p-кремнии в системах Al-Ti-Si, Al-Ti-SiOх-Si / Гурский Л. И., Снитовский Ю. П. // Металловедение и термическая обработка металлов. - 2007. - № 7. -