Подробное описание документа

   Развитие метода селективного удаления атомов применительно к изготовлению многослойных микро-и наноразмерных паттернированных сред различного назначения / Гурович Б. А., Кулешова Е. А., Приходько К. Е., Домантовский А. Г., Маслаков К. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 2-10.

УДК

539.2 Свойства и структура молекулярных систем

Статья опубликована в следующих изданиях