Подробное описание документа

   Статья

Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А.
   Уточнение модели емкостных элементов МЭМС / Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 48-50.

УДК

621.3.049 Конструирование электрических цепей

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 48-50

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 4. - 2007.

подробнее