Подробное описание документа

Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А.
   Уточнение модели емкостных элементов МЭМС / Палагин В. А., Грицкевич Е. В., Фризюк Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 48-50.

УДК

621.3.049 Конструирование электрических цепей

Статья опубликована в следующих изданиях