Личный кабинет
Подробное описание документа
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / РАН. СО. Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Асеев А. Л. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2004. - 367 с. : ил. - Библиогр.
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологий для изготовления устройств наноэлектроники.
Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника5 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Похожие издания
