Подробное описание документа

   Вакуумные ионно-плазменные технологии и перспективы их применения в машиностроении / Ильин А. А., Спектор В. С., Сарычев С. М., Плихунов В. В., Петров Л. М., Иванчук С. Б. // Технология машиностроения. - 2007. - № 9. - С. 33-35.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Статья опубликована в следующих изданиях