Подробное описание документа
Статья
Лозован А. А.
Оптимизация процесса разработки вакуумных наноградиентных покрытий / Лозован А. А. // Технология машиностроения. - 2007. - № 9. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них