Подробное описание документа

Бобков С. Г., Киреев В. Ю.
   Проблемы перехода микроэлектроники в субстананометровую область размеров. Часть 2. Возможности наноимпринт литографии и проекционной оптической литографии / Бобков С. Г., Киреев В. Ю. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 8-18.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях